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リニアモータアシストAOIウエハ検出方式

ノポト科AOIウエハ検出ソリューションは特製リニアモーターを運動軸とし、大理石プラットフォームを基準とし、レーザー干渉計を用いて調整と補償を行い、AOIウエハ表面検出を完成する。 AOIウエハ検査設備の精度と水平状態を保証するために、当該企業はテーブルの設置面と接触面全体に大理石平面を採用している。設計の前に、大理石に対して有限要素分析を十分に行い、大理石の設計構造を最適化し、大理石の微細な変形を防止する。

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